【家庭宠物护理】ASML介绍新一代高NA EUV光刻机:芯片缩小1.7倍、密度增加2.9倍

按照业内预判,介绍机芯2025年前后半导体在微缩层面将进入埃米尺度(Å,新代小倍angstrom,高N光刻1埃 = 0.1纳米),片缩家庭宠物护理其中2025对应A14(14Å=1.4纳米)。密度除了新晶体管结构、增加瑜伽教程2D材料,介绍机芯还有很关键的新代小倍一环就是High NA(高数值孔径)EUV光刻机。根据ASML(阿斯麦)透露的高N光刻最新信息,第一台原型试做机2023年开放,片缩预计由imec(比利时微电子研究中心)装机,密度2025年后量产,增加第一台预计交付Intel。介绍机芯减肥瘦身

Gartner分析师Alan Priestley称,新代小倍0.55NA下一代EUV光刻机单价将翻番到3亿美元。高N光刻

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那么这么贵的机器,到底能实现什么呢?

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ASML发言人向媒体介绍,更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1.7倍、同时密度增加2.9倍。未来比3nm更先进的工艺,将极度依靠高NA EUV光刻机。

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当然,ASML并不能独立做出高NA EUV光刻机,还需要德国蔡司以及日本光刻胶涂布等重要厂商的支持。

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ASML现售的0.33NA EUV光刻机拥有超10万零件,需要40个海运集装箱或者4架喷气货机才能一次性运输完成,单价1.4亿美元左右。

去年ASML仅仅卖了31台EUV光刻机,今年数量提升到超100台。

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